国内外关于ITO废靶材的资源化利用和无害化处置技术的相关研究较多,主要可分为湿法、火法以及火湿法联合三大类。湿法类主要的提取方式为盐酸浸出,浸出液经氧化法或使用铝粉、锌粉等分离铟锡后再置换得到粗铟,该方法的缺点是铟锡分离率低,氧化锡渣等中含铟约1%~2%,铟直收率﹤97%。
火湿法联合类的主要工艺为以氢气还原得到铟锡合金,合金再通过精细化的电解精炼进行铟锡的分离等;该技术的缺点是锡主要存在于阳极泥中,铟电解过程中的阳极残级率高,铟的回收率﹤98%。
对ITO废靶材中铟锡进行资源化的关键是要综合考量铟锡的分离率、直收率以及产品和副产品的品质等经济技术指标。上述几种主流的从ITO废靶中综合回收铟锡的工艺中有一个共性的问题,那就是铟锡的分离不够彻底,铟的回收率在97%~98%,进一步提升铟收率的空间较小,产生的锡渣或粗锡中含铟较高,作为锡原料或产品出售时会造成铟的损失;所以,探寻一种从ITO废靶材中充分、彻底分离并回收铟锡的新方法显得尤为重要。
ITO靶材生产所消耗的铟锭占全球铟消费总量的70%左右,其它包括电子半导体领域、合金和焊料领域、研究行业。全球预估铟储量仅5万吨,其中可开采部分仅有50%。