国内外关于ITO废靶材的资源化利用和无害化处置技术的相关研究较多,主要可分为湿法、火法以及火湿法联合三大类。湿法类主要的提取方式为盐酸浸出,浸出液经氧化法或使用铝粉、锌粉等分离铟锡后再置换得到粗铟,该方法的缺点是铟锡分离率低,氧化锡渣等中含铟约1%~2%,铟直收率﹤97%。
为了进一步极限化的提高铟锡的收率,进一步简化工序,提升生产效率,减少环境污染,此次在基于氯化锡具有相对较低沸点的特性的基础上,设计了“盐酸浸出—蒸馏分离铟锡—锌或铝置换铟—蒸出锡提纯制五水氯化锡/蒸出酸回用”的技术方案,并进行了系统的试验验证。
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ITO靶材生产所消耗的铟锭占全球铟消费总量的70%左右,其它包括电子半导体领域、合金和焊料领域、研究行业。全球预估铟储量仅5万吨,其中可开采部分仅有50%。